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惰性气体的处理：惰性气体虽然没有危险性，但大量惰性气体集聚，会使周围氧含量减少，从而使人窒息。（1）在室外适当的地方排放。（2）若钢瓶或仪器在室内，可接上排气导管，使其引到室外缓慢排放。2、助燃气体的处理：（1）将黏着在容器阀门上或使用器具上的粉末、石油类、油脂类及可燃性物质，底清除干净后，方可进行助燃气的处理。（2）严禁助燃气体和可燃气体在同一地方其附近进行处理，以防爆炸事故的发生。（3）在处理助燃气体的周围，应无火源、无燃烧物和易爆物品。
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目前，VOCs的末端处理技术很多，有吸收、低温等离子、光催化、生物净化、吸附、催化氧化、锅炉热力焚烧、蓄热式热氧化（RTO）等。吸收法的净化效率可达80%～90%，但有二次污染，且对非水溶性物质的净化效率低；低温等离子、光催化和生物法一般仅适用于低浓度废气的处理；吸附法净化效率可达90%以上，但如不再生回收，运行费用偏高，如再生回收则要求回收物质易脱附且有利用价值；催化氧化净化效率较高，但催化剂费用昂贵，且废气中不能有使催化剂失活的成分；锅炉热力焚烧净化效率高，但需依托锅炉，使用场合受限制；RTO的净化效率和热回收效率高，适用性广，可以满足严苛的处理要求。
对于喷漆房废气处理的工艺流程，前边所使用的方法是一样的，首先用离心风机将喷涂或者流水线的漆雾颗粒物吸入管道中，在管道后边将油漆的颗粒物进行阻拦，这个阻拦颗粒物的设备可以是水帘柜、喷淋净化塔或者干式漆雾过滤箱，漆雾过滤箱可以采用过滤棉、活性炭过滤棉、迷宫式纸盒或者F6级过滤布袋，具体选择哪种材质需要根据实际情况进行选择，不如有可能因为选择的过滤箱材料问题，引起设备内堵塞导致无法正常使用或者将管道吸扁的情况发生，过滤完漆雾颗粒物之后需要将剩下的voc有机废气（甲苯、二甲苯及非甲烷总烃）进行净化，净化所采用的设备可以是活性炭吸附箱。
工业废气处理科普污染物的分类，污染物可有多种分类方法，按污染物的来源可分为自然来源的污染物和人为来源的污染物，有些污染物(如二氧化硫)既有自然来源的又有人为来源的。按受污染物影响的环境要素可分为大气污染物、水体污染物、土壤污染物等。按污染物的形态可分为气体污染物、液体污染物和固体废物。按污染物的性质可分为化学污染物、物理污染物和生物污染物；化学污染物又可分为无机污染物和有机污染物；物理污染物又可分为噪声、微波辐射、放射性污染物等；生物污染物又可分为病原体、变应原污染物等。按污染物在环境中物理、化学性状的变化可分为一次污染物和二次污染物。此外，为了强调污染物对人体的某些有害作用，还可划分出致畸物、致突变物和致癌物、可吸入的颗粒物以及恶臭物质等。
为了保证设备的功能不降低，下降到规定的临界值或者故障率的降低，应按照事先制定的计划跟技术要求对设备进行日常维护保养，称之为设备的预防与维护。国内外普遍采用的预防维护措施是设备状态检测维修和定期的保养。低温催化燃烧RCO检测维修是对工业废气处理设备实际情况的预防维修方式，一般设备日常检测和定期检测来查明设备的使用情况，针对设备的磨损程度，在故障没有发生之前，尽早的对设备进行预防维修，排除掉故障跟隐患，让设备正常运行。
一、安装准备阶段
清点、检查设备，以便安装工序顺利进行。在运输或开箱的过程中时，若是发现有涂漆、防锈层的损坏，应进行必要的修补。安装时，在设备表面不能进行电焊、气割等作业，以保证内部的结构不被破坏。
二、试用准备阶段
在安装、配管、仪表等工程全部完工后，要及时的进行工作台清洗工作。
三、运行调试阶段
准备阶段结束后，进行废气处理设备的开机测试。
四、日常运行阶段
准备、测试之后就进入了正常运行的阶段，操作人员每天要定期检查设备现场，把结果如实的记录下来，与运行记录一起给予总结，作为定期维修的资料。
五、后期维护保养阶段
废气处理设备投入运行一年之后，要进行周期性的维护保养，这是为了保证第二年的一年之内无事故地安全运行。为了减少停车时间，检查人员和检修工人在许可的情况下，尽量与其它组件同时进行。检查时如发现有异常，一定要及时处理，并给予解决。
RTO废气处理设备的适用范围：1、适用于汽车及机械制造业、涂装线及烘房有机废气处理；电子制造业、印刷线路板（PCB）有机废气处理；电子制造业、漆包线绝缘有机废气处理；轻工业、制鞋涂胶有机废气处理；印刷彩印有机废气处理。2、适用于冶金钢铁业、碳素电极生产有机废气处理；化学工业、化学合成工艺（ABS合成）有机废气处理3、适用于石油炼化工艺有机废气处理等各种产生有机废气场所。
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从设备时间上算起，需要定期对工业废气处理设备做维修这是一种从设备运行时间上来预防维修方式，具有对设备进行周期性维修的特点，根据工业废气处理设备的使用磨损规律，事先确定维修类别，维修间隔期，维修内容以及技术要求等，维修计划需要按废气处理设备的计划开动时数可作较长时间的安排。随着大气环境的持续恶化和雾霾天气的增多，废气处理刻不容缓。如何提高废气处理质量并满足废气处理要求，是废气处理工作中的重要内容。但是从目前废气处理过程来看，由于废气处理是一项系统工程，涉及的环节多，覆盖面也比较广，其总体处理成本也比较高，对废气处理造成了制约。
